제품소개
파운드리서비스
ᆞ당사는 고객맞춤형 공정컨설팅, 설계, 공정파운드리 서비스를 통해, 최적의 솔루션을 제공합니다. ᆞ고객 요구 일정에 맞춰 최상의 결과를 제공합니다.
제품소개
| Epitaxy 성막 | Wafer 세정 | Wafer 화학처리 | Photo 공정 | 증착공정 | 열처리 | 식각공정 | 후공정 | 측정 | 분석 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GaN-on-Sapphire | 유기세정 | 산처리 | PR코팅 | SiO₂(PECVD) | RTA | GaN | Grinding | Probe | PL |
| GaN-on-Si | 산세정 | 염기처리 | 노광 | ITO(RPO) | SiO₂ | Lapping | Sort | XRD | |
| GaN-on-SiC | 유기처리 | 현상 | Metal(E-beam) | Poliching | SEM | ||||
| AFM | |||||||||
| a-step |
| ID | Model | Capacity | Application |
|---|---|---|---|
| MOCVD#1 | Veeco | 14x4인치, 5x6인치, 3x8인치 | GaN Based LED, Power device |
| MOCVD#2 | Veeco | 14x4인치, 5x6인치, 3x8인치 | GaN Based LED, Power device |
| MOCVD#3 | Aixtron | 5x4인치 | GaN/AIN Based LED, Power device (Max Temp. 1400℃) |
| MOCVD#4 | Aixtron | 5x8인치 | GaN Based LED, Power device |
| PL | 4인치, 6인치, 8인치 | ||
| XRD | 4인치, 6인치, 8인치 | ||
| AFM | 4인치 |
| Machine | Wafer Size | Note |
|---|---|---|
| Wet Station (산) | 4인치 | H₂SO₄, H₂O₂, HNO₃, HCl, BOE |
| Auto Wet Station (유기) | 4인치 | 아세톤, IPA, PR stripper |
| Spin Dryer#1,2,3 | 4인치 | |
| Track#1,2 | 4인치 | PR Coating (Positive, Negative) |
| Track#3 | 4인치 | PR Develop |
| Stepper | 4인치 | Expose |
| Aligner | 4인치 | Expose |
| PECVD#1,2 | 4인치 | SiO₂ Deposition |
| O₂ Asher | 4인치 | |
| ICP-RIE #1,2,3 | 2인치, 4인치, 6인치, 8인치 | GaN, SiO₂ Dry Etch |
| RPD | 2인치, 4인치, 6인치, 8인치 | ITO Deposition |
| E-beam#1,2,3 | 2인치, 4인치, 6인치, 8인치 | Cr, Ni, Ti, Al, Au, AuSn, SAC Deposition |
| RTA#1,2,3 | 4인치 | 300~700℃ Anneal |
| Grinder Machine | 4인치 | |
| Lapping Machine | 4인치 | |
| Polishing Machine | 4인치 | |
| Wafer Breaker#1,2 | 4인치 | |
| Laser scriber#1,2 | 4인치 | |
| Wafer Prober#1,2 | 4인치 | |
| Chip Prober#1,2 | 4인치 | |
| Chip Soter#1,2 | 4인치 | |
| SEM | - | |
| Alpha Step | 2인치, 4인치, 6인치, 8인치 | |
| Filmetrics | 2인치, 4인치, 6인치, 8인치 |
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