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보유핵심기술

microLED 광원

microLED 광원

microLED
평면디스플레이
주요 이슈

PM 방식

비교적 큰 MiniLED 광원을 PM 구동의 PCB 위에
기존 전사방식을 이용하여 제작
(microLED 광원 사이즈로 소형화, 생산성 이슈)

AM 방식

초소형 & 초극소형 microLED 광원을
AM 구동의 TFT백플레인 위에
고난도 전사방식을 이용하여 제작
(100% 전광 특성 수율의 광원 필요,
불량 대책 이슈)

차별화 솔루션 01

초박형 기판 가공기술 및
에피택시 다이

PM 방식 장점

· 측정·분류된 양품 광원만 사용

· 이미() 검증된 전사 기술 활용

AM 방식 장점

· LLO 기술 통해 성장(지지)기판 분리

초박형 기판가공기술

· MiniLED 극소형화

microLED 광원

microLED
마이크로디스플레이
주요 이슈

마이크로디스플레이는 메타버스 디바이스의 핵심 기술로써, 여러 기술적 난제로 여전히 개발 단계에 있음

주요 이슈

· 8인치 이상 대구경 RGB 에피택시 웨이퍼 이슈

· 8인치 이상 엔지니어링 모노리식 에피택시 웨이퍼 이슈

· 칩 소형화 이슈 (성능 저하, 제조 공정 복잡성)

· 칩 접합 이슈

· RGB Color (Color Conversion or 청·녹·적색 배열)

차별화 솔루션 02

선()접합
후()소자 공정

불투명한 금속 접합층 대신 신소재 세라믹을 사용함으로써, 기술적 핵심 이슈를
해결하는 솔루션을 제공

차별화 솔루션 03

microLED 광원
파운드리

웨이브로드㈜는 GaN 에피택시 설비 이외,
팹 & 칩 다이 공정관련 설비 구축으로
microLED 광원 공급이 가능한 국내 유일의 중소기업
▶ microLED 디스플레이를 개발하는 산·학·연 기관에 microLED 광원 공급 및 파운드리 서비스 제공

GaN 에피택시 하우스
(4인치, 6인치, 8인치)

microLED 광원 및 전력반도체

MOCVD : 3대(K465i 2대, HT-Crius 1대)
분석 장비 : XRD, PL(266nm), PL(375nm), Quick-EL, AFM, Normalski OM

microLED 광원 파운드리
(4인치, 8인치)

COW, COT, 에피택시 다이, 엔지니어드 모노리식 에피택시 웨이퍼

팹 : Photolitho Tools(Stepper, Aligner, Track) Plasma Etcher, CVD, PVD, RTA
칩 : Lapping, Polishing, Probe
평가분석 : 현미경, SEM, 적분구