보유핵심기술
비교적 큰 MiniLED 광원을 PM 구동의 PCB 위에
기존 전사방식을 이용하여 제작
(microLED 광원 사이즈로 소형화, 생산성 이슈)
초소형 & 초극소형 microLED 광원을
AM 구동의 TFT백플레인 위에
고난도 전사방식을 이용하여 제작
(100% 전광 특성 수율의 광원 필요,
불량 대책 이슈)
· 측정·분류된 양품 광원만 사용
· 이미(旣) 검증된 전사 기술 활용
· LLO 기술 통해 성장(지지)기판 분리
· MiniLED 극소형화
마이크로디스플레이는 메타버스 디바이스의 핵심 기술로써, 여러 기술적 난제로 여전히 개발 단계에 있음
· 8인치 이상 대구경 RGB 에피택시 웨이퍼 이슈
· 8인치 이상 엔지니어링 모노리식 에피택시 웨이퍼 이슈
· 칩 소형화 이슈 (성능 저하, 제조 공정 복잡성)
· 칩 접합 이슈
· RGB Color (Color Conversion or 청·녹·적색 배열)
불투명한 금속 접합층 대신 신소재 세라믹을 사용함으로써, 기술적 핵심 이슈를
해결하는 솔루션을 제공
웨이브로드㈜는 GaN 에피택시 설비 이외,
팹 & 칩 다이 공정관련 설비 구축으로
microLED 광원 공급이 가능한 국내 유일의 중소기업
▶ microLED 디스플레이를 개발하는 산·학·연 기관에 microLED 광원 공급 및 파운드리 서비스 제공
microLED 광원 및 전력반도체
MOCVD : 3대(K465i 2대, HT-Crius 1대)
분석 장비 : XRD, PL(266nm), PL(375nm), Quick-EL, AFM, Normalski OM
COW, COT, 에피택시 다이, 엔지니어드 모노리식 에피택시 웨이퍼
팹 : Photolitho Tools(Stepper, Aligner, Track) Plasma Etcher, CVD, PVD, RTA
칩 : Lapping, Polishing, Probe
평가분석 : 현미경, SEM, 적분구